RMS系統(tǒng)實現(xiàn)設備Recipe的自動上傳、下載、比對、審批、Golden/Unique、歷史版本管理等功能；RMS系統(tǒng)可以降低人工操作對Recipe參數(shù)的出錯率，提高設備生產(chǎn)良率及人工作業(yè)效率。
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